供应GIK小型等离子清洗蚀刻机系统 台式进口纳米级紧凑型

等离子清洗机真空反应舱尺寸：内径4.0英寸（102毫米），7.9英寸（200毫米）深

材质：纯石英

输入功率：150W（最大）

工作频率：13.56MHz

射频功率：0W~30W 功率旋钮连续调节

洗机重量：16公斤（约）

尺寸：12.3英寸（312毫米）高x 30英寸（762毫米）宽x 12.4英寸（315毫米）深

真空计：热偶式、数码显示、实时监控真空反应舱内压力。

气体混合计：配备气体流量控制系统，可以精密控制工艺气体喂入及混合。

配套托盘：纯石英材质